Kako očistiti napolitanke

Čišćenje vafla se odnosi na proces uklanjanja zagađivača i oksida sa površine vafla hemijskim ili fizičkim metodama tokom procesa proizvodnje integrisanih kola, tako da površina vafla ispunjava zahteve za čistoću. Princip čišćenja vafla je uklanjanje svih vrsta nečistoća bez oštećenja vafla. [6]
Postoje četiri glavna mehanizma za uklanjanje čestica: otapanje, oksidativna dekompozicija, električno odbijanje između čestica i površine silicijumske pločice i blaga korozija površine silicijumske pločice.
Za uklanjanje metalnih čestica obično se koristi SC-2 rastvor ili HPM rastvor za smanjenje sadržaja metala na površini pločice. Među njima će se kristalizirati otopina SC-2, što može povećati broj čestica na površini vafla nakon čišćenja. Stoga se HF može koristiti umjesto HCL, ili se O3 u kombinaciji sa HF može koristiti za zamjenu otopine SC-2, koja također može efikasno ukloniti metalne čestice.
Za organske zagađivače obično se koristi SPM otopina ili ultraljubičasto/ozonsko kemijsko čišćenje za njihovo uklanjanje.
Nakon mokrog čišćenja, oblatna se mora temeljito osušiti kako bi se osiguralo da na površini nema tragova vode prije ulaska u sljedeći postupak. Tri najčešća načina sušenja su centrifugiranje, sušenje Marangoni i sušenje raspršivanjem vrućim izopropil alkoholom.